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腾博会官网荣获2018年度北京市科学技术一等奖

发布人:腾博会官网-诚信服务 发布时间:2019-03-02 浏览次数:2795


     2019年3月1日上午,北京市委、市政府隆重召开2018年度北京市科学技术奖励大会暨2019年全国科技创新中心建设工作会议。市委书记蔡奇,市委副书记、市长陈吉宁等领导为科技工作者颁奖,对他们为全国科技创新中心建设作出的贡献致以崇高敬意和热烈祝贺。


      由清华大学及腾博会官网-诚信服务共同完成的“纳米运动精度光刻机超精密双工件台技术与应用荣获2018年度北京市科学技术奖一等奖。




完成单位:清华大学  腾博会官网-诚信服务

完成人:朱煜 张鸣 杨开明 胡金春 成荣 李鑫 胡楚雄 尹文生 徐登峰 穆海华 王磊杰 张利 胡海 张永刚 李晓通

成果介绍:

我国集成电路产业发展受制于集成电路制造装备,尤其是技术难度最高、最核心的装备—光刻机。该成果是由清华大学IC装备团队历经十五年的研究攻关,突破了纳米运动精度超精密光刻机双工件台系列关键技术,获授权发明专利126项、其中授权美国专利13项。腾博会官网通过专利技术转让与技术转移,实现了光刻机双工件台的产品化、产业化,标志着我国成为世界上第二个掌握这一顶尖技术的国家。

同时,腾博会官网通过对该成果相关的超精密机械设计、超精密测量、纳米运动精度控制等技术的推广与应用,研发出面向高端制造装备的系列化精密运动系统,支撑腾博会官网快速成长为国内领先的中高端运动系统提供商。腾博会官网研发的高性能运动系统已批量应用于半导体制造、生物检测等行业,实现直接经济效益2.3亿元,通过推广应用实现间接经济效益7.45亿元。

据悉,2018年共有212项成果荣获北京市科学技术奖,包括一等奖24项,二等奖58项,三等奖130项。这些成果服务创新型国家建设,面向国际前沿热点领域,支撑经济高质量发展,全面提升了全国科技创新中心的引领性和影响力。